金刚线切割液ZHTE-801产品说明书
发表时间:2023年04月19日浏览量:
一、产品介绍
本产品是一款水基型晶硅线切割液,具有优异的润滑、快速冷却、防腐、防锈、氢气抑制功能,能有效防止切割过程中的脆性崩裂、划痕明显、断线等现场的产生,降低硅片表面粗糙度,使用时不仅泡沫低,润湿快,硅粉分散性好,还具有硅片线痕少,切割微粉沉降快,碎片比例低,排片易清洗,没有残留等优点,大大提升良率。
二、产品指标
表 切割液ZHTE-801产品指标
三、产品特点
1、优异的冷却效果。及时散去线锯和晶硅表面产生的高热量。
2、突出的润滑渗透性能。减少表面划痕,降低表面粗糙度,降低金刚线的磨损。
3、良好的分散性能。解决硅粉和磨损的碳化硅颗粒的再沉积问题,避免吸附在表面造成污片,便于硅片的清洗和后续加工。
4、杰出的消泡、清洗性能。能有效的进行抑泡和消泡,消除泡沫对切割过程的不利影响;同时能对金刚线及硅片表面进行清洗。
四、应用领域
适用于各种金刚石、半导体、晶圆、芯片、硅片、蓝宝石、陶瓷的金刚石线切割加工过程的润滑冷却。
五、注意事项
使用方式:使用时,1公斤单组分切割液,根据不同机器及工艺要求,兑水300-350L使用。
使用方法:按比例稀释成工作液后,加入线切割设备加工液槽后使用。
工作液维护:根据使用情况定期补加原液;长时间使用后,效能下降或失效时,及时更换槽液;
六、包装贮运
ZHTE-801金刚线切割液一般以20~25Kg塑料桶包装,应密闭贮存在室内阴凉处,严禁日晒、雨淋,按非危险品规定运输。
本产品是一款水基型晶硅线切割液,具有优异的润滑、快速冷却、防腐、防锈、氢气抑制功能,能有效防止切割过程中的脆性崩裂、划痕明显、断线等现场的产生,降低硅片表面粗糙度,使用时不仅泡沫低,润湿快,硅粉分散性好,还具有硅片线痕少,切割微粉沉降快,碎片比例低,排片易清洗,没有残留等优点,大大提升良率。
二、产品指标
表 切割液ZHTE-801产品指标
检测项目 | 指标要求 |
原液外观(10℃) | 透明液体 |
工作液外观要求 | 半透明液体 |
固含量/% | >50 |
pH (5%水溶液) | 5-7 |
重金属含量/mg/kg | ≤5 |
表面张力/N·m-1 | 20-35 |
润湿 /s(5%稀释液) | ≤10 |
旋转黏度/mPa·s (25℃) | <200 |
分散性/ntu (10h,硅粉1%,工作液0.1%) | 不分层 |
工作液电导率/us/cm 1:300兑水 (25±2℃) | >1 |
原液电导率/us/cm | 50±3 |
浊点/℃(1%水) | 40-45 |
三、产品特点
1、优异的冷却效果。及时散去线锯和晶硅表面产生的高热量。
2、突出的润滑渗透性能。减少表面划痕,降低表面粗糙度,降低金刚线的磨损。
3、良好的分散性能。解决硅粉和磨损的碳化硅颗粒的再沉积问题,避免吸附在表面造成污片,便于硅片的清洗和后续加工。
4、杰出的消泡、清洗性能。能有效的进行抑泡和消泡,消除泡沫对切割过程的不利影响;同时能对金刚线及硅片表面进行清洗。
四、应用领域
适用于各种金刚石、半导体、晶圆、芯片、硅片、蓝宝石、陶瓷的金刚石线切割加工过程的润滑冷却。
五、注意事项
使用方式:使用时,1公斤单组分切割液,根据不同机器及工艺要求,兑水300-350L使用。
使用方法:按比例稀释成工作液后,加入线切割设备加工液槽后使用。
工作液维护:根据使用情况定期补加原液;长时间使用后,效能下降或失效时,及时更换槽液;
六、包装贮运
ZHTE-801金刚线切割液一般以20~25Kg塑料桶包装,应密闭贮存在室内阴凉处,严禁日晒、雨淋,按非危险品规定运输。